林永钟，林坚

摘要(Abstract)：

定值法监控技术是制备对称周期膜系的有效方法．本文采用数值计算方法确定定值法膜厚监控参数．实验表明，此方法准确、可靠、方便．

关键词(KeyWords)： 定值法，膜厚，监控参数，数值计算

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 林永钟，林坚

参考文献(References)：

• 1FutingZhao．Monitoringofperiodicmultilayersbythelevelmethod．AppliedOptics，1985，24（20）：3339～33422唐晋发，郑权．应用薄膜光学．上海：上海科学技术出版社，1984．