定值法膜厚监控参数的确定Determining of Film Thickness Monitoring Parameter for Level Method
林永钟,林坚
摘要(Abstract):
定值法监控技术是制备对称周期膜系的有效方法.本文采用数值计算方法确定定值法膜厚监控参数.实验表明,此方法准确、可靠、方便.
关键词(KeyWords): 定值法,膜厚,监控参数,数值计算
基金项目(Foundation):
作者(Author): 林永钟,林坚
摘要(Abstract):
定值法监控技术是制备对称周期膜系的有效方法.本文采用数值计算方法确定定值法膜厚监控参数.实验表明,此方法准确、可靠、方便.
关键词(KeyWords): 定值法,膜厚,监控参数,数值计算
基金项目(Foundation):
作者(Author): 林永钟,林坚