福建师范大学学报(自然科学版)

1996, (04)

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定值法膜厚监控参数的确定
Determining of Film Thickness Monitoring Parameter for Level Method

林永钟,林坚

摘要(Abstract):

定值法监控技术是制备对称周期膜系的有效方法.本文采用数值计算方法确定定值法膜厚监控参数.实验表明,此方法准确、可靠、方便.

关键词(KeyWords): 定值法,膜厚,监控参数,数值计算

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 林永钟,林坚

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