聚5-苯基戊二烯叉丙二酸乙二酯和聚呋喃丙烯叉丙二酸乙二酯的合成及应用The Synthesis and Application of Poly (5-Phenyl-Pentadienidene Ethylene Glycol Malonate) and Poly(Furanacroleinidene Ethylene Glycol Malonate)
金章岩;林以新;
摘要(Abstract)：
用改进后的新法合成了两种新型的聚酯型光致抗蚀剂——聚5-苯基戊二烯叉丙二酸乙二酯和聚吠喃丙烯叉丙二酸乙二酯。合成方法简单,反应时间短(6～8小时)。用80瓦汞灯,距离8厘米,所需最短曝光时间分别为10秒和3秒,分辨率达到0.6微米。粘附性能好,抗蚀性强,加入染料后可用作氦氖激光全息照像记录介质。
关键词(KeyWords)： 光致抗蚀剂;聚酯型;合成方法;光刻胶
基金项目(Foundation):
作者(Authors): 金章岩;林以新;
参考文献(References)：
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